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磁气密封是什么?理学独自的回路构成

磁气密封是什么?

理学的磁性流体密封起始于理学集团开发设计的X射线衍射分析装置的X射线发生器。
X射线衍射装置所使用的磁流体密封,在超高速旋转、高真空的同时又要在空心旋转轴中通过大量的水流等、使用条件极其严酷。
理学独自开发设计的磁气回路,使理学磁性流体密封经受住了实践的验证。
磁气密封的名称也在半导体制造行业等先端行业受到广泛使用。


旋转阳极型 X 射线发生器



理学独特的磁回路

理学的磁流体密封装置,是并列的永久磁铁的相同磁极NS-SN-NS将极靴夹在其中,形成对峙,相互排斥形成强大的磁场。将强大磁场中的磁靴先端分割成两个端面,构成了独自的磁性回路。
相邻接磁场的排斥效果致使磁靴先端的磁通量集中,磁流体在其强力的支撑下,每个密封圈的耐差压相对加大。
因此,使磁流体密封实现了小型紧凑合理化。
因为有强大的耐差压的磁性回路构造,磁靴和导磁轴之间的空隙可以加大,高速旋转和超大口径的磁流体密封装置的设计生产成为现实。
理学磁流体密封装置的磁性回路,因为在磁靴内部所形成,从磁流体密封装置的磁场漏泄大大减少,因此也很难接受到来自外界磁场的影响。
正因为如此,电子束绘画装置等对外界磁场敏感的装置,在强磁场应用所必要的大口径单晶炉等方面、理学的磁流体密封装置被半导体行业厂家所广泛的使用。


理学独特的磁气回路


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