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特殊规格类型的介绍

多轴密封

半导体晶圆和液晶基板等搬送用真空机器人的手臂使用。
因为使用了高温类型的磁性流体、耐热温度可以达到120°C。

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有波纹管

在磁流体密封旋转机型上安装波纹管后、实现了向轴方向的直进动作。
特别是真空机器人要求的、将机器人手臂先端部分摆动幅度控制到最小限度值。因此、磁流体密封的轴在安装波纹管后并成功的达到了摆动值的高精度。

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防尘密封

和真空密封以及加压密封相同、不仅要保持压力差、更主要的是以防止污染为目而使用的密封。
作为在清洁环境下被使用的机器人手臂部分防止产生灰尘、或为保护HDD针头部为目的所使用。

高压型

在构造上增加磁靴的段数从而能经受住更大压差的密封。
有1MPa的实绩。

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有净化机能

活性气体和真空室内产生的粉尘等、对磁气密封寿命有很大的影响。因此对磁气密封内部进行N2清扫、有效地控制了活性气体和粉尘的侵入。
N2或Air的清扫是为了防止磁性密封内部液体的侵入。

片侧支撑型

通过将磁流体密封的真空侧的轴承移向大气侧,使真空炉内的环境更加清洁。

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真空吸附

通过轴中心部的孔洞排气、夹紧对象物品进行旋转。主要的对象物品是硅晶片和液晶基板等、在旋转涂布机、表面检测、搬送等方面使用。

直接驱动类型

AC电动机一体的小型磁流体密封装置。

  • 通常的磁流体密封装置转动时需要另外安装连接电动机。因此需要预先准备好安装电动机的空间、因为传送精度的原因存在角度控制等难点、通过电动机与磁流体密封的组合、使其小型一体化。解决了传输损耗的问题。

F1-M类型(内置方式)

  • 在磁流体密封装置的内部安装上旋转器、固定片、成为可以直接驱动的磁流体密封机种。

F1-M类型(内置方式)


规格型号马达输出軸径
RMS-F1-M-20-W 200W φ20 0.6N・m
RMS-F1-T4601-8-W 30W φ8 0.07N・m
RMS-F1-T4603-8-W 100W φ8 0.3N・m
RMS-F1-T4609-14-W 400W φ14 1.1N・m
RMS-F1-T4614-19-W 750W φ19 2.2N・m

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超高真空对应

磁流体密封RMS系列使用的超高真空系统实例

作为超高真空领域的旋转传导装置、理学独特系统构造(专利第3006780号)的磁流体密封装置问世以来。通过从中间排气口的排气、切实的阻止了磁性流体的基本液体产生的油雾和微小气泡向真空侧的渗入,有效的防止了真空领域的环境污染。通过孔板的使用、达到了差分排气效果、保持了室内的超高真空。在此状态下実現高扭矩旋转力的传动。


  • 通过孔板措施和差分排气的使用、阻止了基本液的薄雾向高真空侧的侵入、实现了高真空化(~10-8Pa)。
  • 可以导入高扭矩旋转力
  • 可以高速旋转
规格
到达压力 ~10-8Pa
温度范围 0~80°C
转速 100~700rpm
排气系统 差分排气方式
圧力測定結果

产品目录上记载的性质上的数值是理学电子机械有限公司的实验结果。不保证在其他环境下是否有相同的结果。产品目录上所记载的公司名称、产品名称是各公司的商标以及注册商标。请注意、随着产品的改良更新、规格・外观等会出现相对的变更。

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