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实例・实绩

溅射设备

建议使用漏磁低的磁流体密封装置

太阳电池、触摸屏、平板显示器的生产所需要的,透明导电膜、增透膜都离不开溅射设备。理学磁流体密封有丰富的生产业绩。
面向对象法、离子束法、磁控法、ECR法、反应溅射设备、可以满足各种溅射设备的需求。
使用了磁铁的磁流体密封装置,被认为很难避免的磁通量漏泄, 理学磁流体密封的特殊构造妥善的解决了漏泄磁场这一难题。
理学独自开发的磁回路构造,在不导磁座10mm以上距离时,不受磁场的任何影响。根据以上实验数据得出结论,对等离子、离子和电子的影响可以不必介意的放心使用。



适合于溅射设备的磁流体密封装置

为了避免金属污染,推荐使用真空侧没有轴承的悬臂式FMB-C系列F1B-C系列磁流体密封装置。
另外,推荐使用空心轴型磁流体密封装置的旋转轴可以通过电极和冷却机制。推荐使用空心轴型悬臂式F1T-C系列

FMT-B F1T-B F1T-C

选择时请注意使用的温度范围和负重。 标准品不能对应的情况下、请与我们联系

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