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实例・实绩

单晶制造设备

有优越的耐磁场性

実験結果

超过300mm的大型结晶体生产提炼时,因为需要强大的MCZ式磁场和尖端领域的系统电源,所采用的磁流体密封的条件是以绝对不能受磁场的影响为前提。理学磁流体密封装置的独特构造耐磁场性强,在SSI研究所提炼出了400mm的晶圆柱体,技术实力得到充分证实。

适合于单晶制造设备的磁流体密封

单晶提引注入设备使用时、建议选择用户的轴与密封一体化的普通规格NFT-B系列普通规格F1T-B系列
另外、对炉内材料容器、提拉装置用高精度旋转磁流体密封也有丰富的生产经验。

NFT-B F1T-B

选择时请注意使用的温度范围和气体。
标准品不能对应的情况下、请与我们联系。

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