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实例・实绩

离子注入设备

高速传动时把芯摆动、共振控制到了最小限度。

  • 通过采用理学独自的技术开发,把轴芯摆动误差控制到最小限度,达到了和谐稳定的高速旋转。
  • 高温·高真空·高负荷的规格产品,芯振动偏差也控制到很小,达到使用寿命长。
  • 可以制造生产适合所有类型的离子注入装置用真空磁流体密封装置。


最适合离子注入设备的磁流体密封

离子注入设备大多数是使用在高速旋转的条件下、因此建议使用真空侧没有轴承的悬臂式磁流体密封。
另外、为了控制高速旋转式的发热、建议使用附带水冷规格的产品,随时可以联系我们。

FMT-C F1T-C F1T-C

选择时请注意使用的温度范围和气体。
对于形状和负荷条件的要求等事项请联系我们

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