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蚀刻设备的规格和加工方法繁多(活性气体、高温、高速旋转、等离子、电极、离子素、强磁场、漏磁等)以往的磁流体密封难以全面对应。 理学的磁流体密封装置为了在该领域中能够早日解决以上问题,而不停的进行新技术的研讨。
卷对卷成膜设备 / 真空机器人 / CVD设备 / 溅射设备 / 离子注入设备 / 单晶制造设备 / 真空吸附 / 真空炉/加压炉 / X射线发生器 / 搅拌装置 / 气体导入机 / 电弧放电 / 外延生长设备
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