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实例・实绩

卷对卷成膜设备

柔性显示器、柔性照明、柔性太阳能电池等生产用。

所谓的卷对卷(RTR:Roll To Roll)成膜,是指卷型胶片基板在真空中的生产过程,利用溅射、沉积、CVD等的方法连续成膜生产,再次形成卷状型的成膜方式。
卷对卷成膜方式是从生产显示器、太阳能电池开始的软性材料为主体,为了能够大批量生产的一门重要的生产技术之一。
磁流体密封与O型圈和机械密封的不同点,是不会因为磨损而产生灰尘,不必担心成膜的表面被污染,最适用于卷对卷成膜装置。
生产量高、质量要求严格、低价格化的生产程序中,磁流体密封起到了决定性的作用。



磁流体密封装置最适合于卷对卷成膜设备

旋转轴可以使用非磁性材料或者长尺寸以及特殊形状等,空心轴的磁流体密封装置非常适合。
可以从标准构造的一般F1T-B系列、真空侧不安装轴承的悬臂式F1T-C系列中来选择。

F1T-B F1T-C

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