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实例・实绩

CVD设备

提供耐高温・活性气体的磁性流体密封装置

我们在很早以前就承担了为众多的一流CVD设备生产厂家提供磁流体密封。
经过长时间的开发研究和试验,研制出在高温条件下也不产生废气的新型磁性流体。这种新型磁性流体和改良后的真空磁流体密封装置相结合,成功的开发了以往CVD装置因使用环境而不可想象的,超长久耐用真空磁流体密封装置,延长了其使用寿命

同时、精密的加工和专业的组装技术、生产出稳定协调的旋转磁流体密封为制膜厚度的均一化做出了贡献。



适合CVD设备的磁流体密封

CCVD设备大多数使用的是腐蚀性气体,因此建议使用真空侧不装轴承的悬臂式磁流体密封。
另外、根据生产环节的不同需要,使用的原材料也有所区别,届时请联系我们。

FMT-B F1T-B F1T-C

选择时请注意使用的温度范围和气体。
对于形状和负荷条件的要求等事项请联系我们

CVD设备使用的具有代表性的磁流体密封

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